半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH
PS-6AH/PS-6NH半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭是一款專為高純度氣體環(huán)境設(shè)計(jì)的氣體監(jiān)測(cè)設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密電子元件生產(chǎn)、光伏材料加工等領(lǐng)域中危險(xiǎn)氣體的實(shí)時(shí)檢測(cè)與安全防護(hù)。該產(chǎn)品通過(guò)優(yōu)化傳感技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)多種特殊氣體的精準(zhǔn)識(shí)別，包括硅烷、磷化氫、砷化氫等易燃、有毒或腐蝕性氣體，為工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)提供可靠的安全預(yù)警支持。
在技術(shù)設(shè)計(jì)上，探頭采用模塊化結(jié)構(gòu)，核心傳感器單元通過(guò)多層防護(hù)技術(shù)有效隔離環(huán)境干擾，確保在高溫、高濕或存在電磁干擾的復(fù)雜工況下仍能保持穩(wěn)定檢測(cè)性能。設(shè)備內(nèi)置智能補(bǔ)償算法，可自動(dòng)修正環(huán)境溫濕度變化對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，顯著提升數(shù)據(jù)可靠性。響應(yīng)時(shí)間控制在3秒以內(nèi)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)氣體泄漏快速響應(yīng)的嚴(yán)苛要求。
產(chǎn)品兼容主流工業(yè)通訊協(xié)議，支持4-20mA模擬信號(hào)與數(shù)字信號(hào)同步輸出，便于集成至廠區(qū)中央控制系統(tǒng)。殼體采用耐腐蝕合金材質(zhì)，防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP65，適用于無(wú)塵車間、氣體存儲(chǔ)區(qū)、管道閥門組等關(guān)鍵監(jiān)測(cè)節(jié)點(diǎn)。其緊湊型設(shè)計(jì)便于嵌入式安裝，維護(hù)時(shí)可通過(guò)前端快速插拔結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)模塊更換，大幅降低設(shè)備停機(jī)時(shí)間。
PS-6AH與PS-6NH系列根據(jù)檢測(cè)場(chǎng)景差異進(jìn)行針對(duì)性優(yōu)化：PS-6AH側(cè)重于常規(guī)濃度范圍的連續(xù)監(jiān)測(cè)，而PS-6NH強(qiáng)化了對(duì)痕量氣體的捕捉能力，最小檢測(cè)量程可達(dá)ppm級(jí)，滿足超凈環(huán)境的高靈敏度需求。通過(guò)配置不同的預(yù)處理單元，設(shè)備可適配正壓、負(fù)壓等多種氣體輸送系統(tǒng)的檢測(cè)要求。產(chǎn)品出廠前均經(jīng)過(guò)多階段穩(wěn)定性測(cè)試，確保在半導(dǎo)體行業(yè)連續(xù)生產(chǎn)場(chǎng)景中的長(zhǎng)效運(yùn)行表現(xiàn)。我們?yōu)槭褂谜咛峁⿲I(yè)的技術(shù)支持，幫助客戶根據(jù)具體工藝需求優(yōu)化監(jiān)測(cè)方案。
半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH
半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH
半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH特點(diǎn)：
¬ 由于是4～20mA的標(biāo)準(zhǔn)輸出,因此可接入各種測(cè)量裝置和系統(tǒng)。
¬ 由于現(xiàn)場(chǎng)有濃度顯示功能，因此可在設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)濃度。
¬ 可以設(shè)定報(bào)警水平，故障報(bào)警，零抑制或線性表格等。
¬ 檢測(cè)部有各種接點(diǎn)輸出信號(hào)
規(guī)格：
| 型 號(hào) |
PS-6AH |
PS-6NH |
| 檢 測(cè) 原 理 |
定電位電解式、熱線型半導(dǎo)體式、隔膜Galvanic電池式
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熱分解、定電位電解式NF3，CC14用
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| 采 樣 方 式 |
泵吸引式 |
| 采 樣 管 道 |
特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm，配管距離20m以內(nèi)，但吸附性強(qiáng)的氣體最大配管距離為5m. |
| 氣體濃度顯示 |
0～9999LED顯示 |
| 輸 出 信 號(hào) |
4～20mA（與電源的負(fù)端共用） |
| 報(bào) 警 輸 出 |
第一段第二段都是開(kāi)路集電極OFF |
| 流量低下信號(hào) |
開(kāi)路集電極OFF |
| 使 用 電 纜 |
KVV-P 3芯或4芯 |
| 使 用 溫 度 |
0～40 oC |
| 電 源 |
DC24V±10% |
| 消 耗 電 力 |
約10W |
約15W |
| 重 量 |
約2.7kg |
| 尺 寸 |
W37×H198×D145（mm）（突起部分除外） |
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